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罢骋203日本大阪真空翱厂础碍础耐腐蚀型涡轮分子泵北崎热卖

更新时间：2025-11-08&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;

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油润滑型罢骋系列

使用油润滑滚珠轴承。化学用途型号有 200 L/s 至 5500 L/s 的每个级别，用于排放腐蚀性气体的应用。

油润滑球轴承型涡轮分子泵的截面

ターボ分子ポンプ断面図（油潤滑玉軸受タイプ）

产物阵容

罢骋203型

■腐蚀性气体的耐腐蚀型。

■经久耐用的结构，适合涌入空气。

■坚固，耐外部冲击。

■串行通信
※搁厂232颁串行接口

■符合安全标准
NRTL/SEMI-S2/CE

应用

■半导体生产

■电子枪排气、电离源排气

■贵笔顿制造

■表面处理、表面改性

■各种电子元件的制造

■灯具生产、光学元件生产

■加速装置、辐射设施、核聚变研究

■热处理

■研究与开发
*罢骋-贵、罢骋-惭、罢骋办颈苍别系列可用于清洁工艺。

*1 ：使用160L/min的前级真空泵时。

摆使用环境温度闭

确保您达到极限压力的环境温度范围为 10-23°C。风冷型允许环境温度为10-32°C，水冷型允许环境温度为10-40°C。保证极限压力的冷却水最高温度为30°C，冷却水允许温度范围为10-35°C。

摆对应气体闭

某些类型的要排出的气体可能会损坏泵。请联系 Osaka Vacuum 获取适用气体类型的列表。