产物分类
更新时间：2025-03-01&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
浏览次数：260轻型紧凑型
高速检查
高灵敏度
用于系统集成
空气泄漏测试无法检测到的微小泄漏可以通过使用氦气进行检测。
使用氦气的泄漏测试方法
真空方法&苍产蝉辫;如何对
工件内部进行真空
真空喷涂法
真空罩法
加压法&苍产蝉辫;对
工件中的氦气加压的方法
嗅探器
真空钟罩法
加压集成方式
轰炸方式（工件没有加压口时）
选择测试方法的示例
每种测试方法的特点
此外，还提供氦气混合器和氦气回收装置，以降低运行成本，因此请单独与我们联系。
我们将根据初始成本和运行成本提出建议。
真空法
| 测试方法 | 真空喷涂法 | 真空罩法 |
|---|---|---|
| 检漏精度 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 |
| 整体测量 | × | ○ |
| 泄漏位置 | ○ | × |
| 自动化 | △ | ○ |
| 初期成本 | ○ | △ |
| 运行成本 | △ | △ |
| 维护成本 | △ | △ |
| 受影响的产物 |  LDS3000 | |
加压方式
| 测试 方法 | 真空 Bellger 法 | 轰炸方式 | 嗅探器 | 加压集成方式 |
|---|---|---|---|---|
| 泄漏检测 精度 | 1贰-07帕米3 /sec 或更高 | 1E-09Pa?m3 /sec 或更高 | 1贰-06帕米3 /sec 或更高 | 1贰-05帕米3 /sec 或更高 |
整体测量 | ○ | ○ | × | ○ |
泄漏位置识别 | × | × | ○ | × |
| 自动化 | ○ | ○ | △ | ○ |
| 初期 成本 | × | ○ | ○ | △ |
| 运行 成本 | × | △ | × | × |
| 维护成本 | × | × | △ | △ |
| 受影响的产物 | LDS3000 |  P3000（XL） 系列 | LDS3000AQ | |
测试方法详细信息
真空法
真空喷涂法
这是一种通过对工件内部进行真空排气，用喷枪从外部喷射氦气时，检测泄漏到工件中的氦气的方法。
真空罩法
这是一种对工件内部进行真空抽真空并用罩盖住，并在罩内对氦气加压以检测泄漏到工件中的氦气的方法。
加压方式
嗅探器
这是一种在对工件内部进行真空抽吸后对氦气加压，然后用吸枪探头将泄漏的氦气吸出以检测泄漏的方法。
真空钟罩法
这是一种将工件放置在腔室中，对工件进行抽真空，然后对氦气加压，对腔室内部进行抽真空以将腔室内部排出以检测氦气泄漏到真空室中的方法。
加压集成方式
这是一种将工件放入罩中，对工件进行抽真空，并对氦气加压，以将从泄漏点泄漏到罩内的氦气积累一段时间，并检测罩中积聚的氦气（浓度）的方法。
轰炸方式
这是将工件放入罐中，抽真空一定时间，用氦气加压一定时间，然后将工件从罐中取出，将工件放入腔室中，对腔室进行抽真空，以检测因泄漏而进入工件的氦气。
泄漏测试设备 加压积分法
加压积分法电路配置
氦气检漏仪 LDS3000AQ 电路配置
氦气检测传感器原理
180° 磁场脱毛质谱仪
进入尝顿厂3000础蚕的氦气通过涡轮分子泵的反向扩散现象到达分析管。
到达分析仪的分子被细丝的电子转化为 + 离子，由于加速电压，它们沿 - 方向移动。
+ 当离子通过磁场时，轨道根据气体的质量进行划分。
只有带有 + 离子的氦气到达离子收集器，并被前置放大器放大为电流进行测量。
泄漏检测设备 真空钟罩法
真空钟罩式反应法电路配置
氦气检测器 LDS3000 电路配置
还有一个带有内置阀的集成检漏仪，可针对每个连接压力自动切换每个端口。
氦气检测原理
180° 磁场脱毛质谱仪
进入尝顿厂3000的氦气通过涡轮分子泵的反向扩散现象到达分析管。
到达分析仪的分子被细丝的电子转化为 + 离子，由于加速电压，它们沿 - 方向移动。
+ 当离子通过磁场时，轨道根据气体的质量进行划分。
只有带有 + 离子的氦气到达离子收集器，并被前置放大器放大为电流进行测量。
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